大视场投影光刻物镜的研究 高波;庄华洁;马涛;沈亦兵 【期刊名称】《光学仪器》 【年(卷),期】2005(027)005 【摘 要】大视场投影光刻物镜是光学系统中的一种特殊的形式,其设计加工要求高.针对研制的8英寸视场的投影光刻物镜,从光学设计要求出发,分析了影响光学系统成像质量的各种主要误差因素,通过ZEMAX模拟,确定了加工容差,并对其加工和装校过程做了阐述,对研制完成的物镜检验了其曝光分辨力和畸变特性,达到了系统设计的指标要求. 【总页数】4页(P56-59) 【作 者】高波;庄华洁;马涛;沈亦兵 【作者单位】浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027 【正文语种】中 文 【中图分类】TH74 【相关文献】 1.193nm光刻投影物镜的研究 [J], 耿康 2.光刻机投影物镜安装方式研究 [J], 齐克奇 3.折叠式激光投影光刻物镜的设计研究 [J], 李文静;周金运;林清华 4.光刻机投影物镜波像差检测技术研究新进展 [J], 5.大视场投影光刻物镜的畸变特性检测 [J], 马韬;沈亦兵 因版权原因，仅展示原文概要，查看原文内容请购买 本文来源：https://www.wddqw.com/doc/60b91c30f142336c1eb91a37f111f18583d00c85.html