微波等离子体化学气相沉积法制备的新型纳米片状碳膜 金哲;顾广瑞 【期刊名称】《延边大学学报（自然科学版）》 【年(卷),期】2009(035)003 【摘 要】A new-style carbon films was prepared on Si wafers by means of a quartz-tube-type microwave plasma chemical vapor deposition(MWPCVD) method with a hydrogen-methane gas mixture. The structure of the carbon films was characterized by field emission scanning electron microscopy(FESEM) and Raman spectroscopy. It was indicated that the carbon films were composed of nano-structured carbon sheets with about 100nm width and 1μm length and complicatedly twisted. The formation mechanism of the carbon nano-sheets was simply discussed.%在甲烷和氢气的混合系统中,利用石英管型微波等离子体化学气相沉积方法,在硅片上制备了新型的纳米片状碳膜.利用场发射扫描电子显微镜和拉曼光谱仪对碳膜的结构进行了表征,结果表明碳膜是由长1μm、宽100nm的纳米碳片相互缠绕而成.最后简单讨论了新型碳纳米片的形成机理. 【总页数】4页(P223-226) 【作 者】金哲;顾广瑞 【作者单位】延边大学理学院,物理系,吉林,延吉,133002;延边大学理学院,物理系,吉林,延吉,133002 【正文语种】中 文 【中图分类】O613.71 【相关文献】 1.微波等离子体化学气相沉积法合成纳米碳管 [J], 王升高;汪建华;马志彬;满卫东;王传新 2.微波等离子体化学气相沉积法低温制备直纳米碳管膜 [J], 王升高;汪建华;张保华;王传新;马志斌;满卫东 3.化学气相沉积法制备碳纳米管的廉价富碳原料：蒙脱土增容NBR／SBR并用胶废料的热解产物 [J], 刘明; 4.微波等离子体化学气相沉积法低温合成纳米碳管 [J], 王升高;汪建华;秦勇 5.射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积法制备类金刚石碳膜工艺与性能表征 [J], 陈冲;费振义;亓永新;曹宁;张益博;王风;吕震;李木森 因版权原因，仅展示原文概要，查看原文内容请购买 本文来源：https://www.wddqw.com/doc/d06c7c1eae02de80d4d8d15abe23482fb4da0224.html