W过渡层结合界面对金刚石薄膜在WC-6%Co上的附着力的影响 王传新;汪建华;满卫东;马志斌;王升高;康志成 【期刊名称】《高压物理学报》 【年(卷),期】2004(018)001 【摘 要】在微波等离子体化学气相沉积装置中,采用负偏压形核等方法,研究两种不同的W过渡层/基体结合界面对金刚石薄膜与WC-6%Co附着力的影响.采用氢等离子体脱碳、磁控溅射镀W、高偏压碳化等方法,在YG6衬底表面形成化学反应型界面,W膜在碳化时和基体WC连为一体,极大地增加了W膜与基体的附着力,明显优于直接镀钨、碳化形成的物理吸附界面.在高负偏压下碳化,能提高表面粗糙度,增加膜与基体机械钳合,而负偏压形核增加核密度,从而增加膜与基体的接触面积,结果极大地提高了金刚石薄膜的附着力. 【总页数】7页(P83-89) 【作 者】王传新;汪建华;满卫东;马志斌;王升高;康志成 【作者单位】武汉化工学院湖北省微波等离子体化学与新材料重点实验室,湖北,武汉,430073;中国科学院等离子体物理研究所,安徽,合肥,230031;武汉化工学院湖北省微波等离子体化学与新材料重点实验室,湖北,武汉,430073;武汉化工学院湖北省微波等离子体化学与新材料重点实验室,湖北,武汉,430073;中国科学院等离子体物理研究所,安徽,合肥,230031;武汉化工学院湖北省微波等离子体化学与新材料重点实验室,湖北,武汉,430073;武汉化工学院湖北省微波等离子体化学与新材料重点实验室,湖北,武汉,430073;中国科学院等离子体物理研究所,安徽,合肥,230031 【正文语种】中 文 【中图分类】O484;TB43 【相关文献】 1.钛过渡层与硬质合金基体表面结合状况对金刚石薄膜附着力的影响 [J], 王传新;汪建华;满卫东;傅朝坤;李克林;马志斌;王升高;康志成 2.基于中间过渡层技术提高金刚石薄膜与硬质合金基体间附着力的研究进展 [J], 崔雨潇;赵天奇;孙方宏;沈彬 3.基于中间过渡层技术提高金刚石薄膜与硬质合金基体间附着力的研究进展 [J], 崔雨潇;赵天奇;孙方宏;沈彬; 4.硬质合金基体上钛过渡层碳化条件对金刚石薄膜附着力的影响 [J], 王传新;汪建华;满卫东;马志斌;王升高;傅朝坤;李克林;康志成 5.Cu和Cu/Ti过渡层对金刚石薄膜附着力的影响 [J], 黄扬风;马志斌;汪建华;梅文明 因版权原因，仅展示原文概要，查看原文内容请购买 本文来源：https://www.wddqw.com/doc/63fda8e9fe0a79563c1ec5da50e2524de518d0c0.html