BFS－1型键合炉（真空） 操作说明 1. 实验操作前，检查整机及各配件（冷水机、机械泵等）是否正常，若没有问题，将调压器电压调整至零位，依次打开冷水机电源、键合炉总电源。 2. 按下操作面板上的“充气”按钮，V4灯亮，给真空室充气，约4分钟后前门自动打开，再次按下“充气”按钮，关闭充气阀。 3. 将待键合的样品擦洗干净，将抛光面对好并合在一起放在电极上，并尽量使键合样品与浮动电极的电压头对准。 4. 按下操作面板上的“升”、“降”按钮使电极起落，压紧键合样品，反复几次，将样品之间气体赶出。 5. 关好前门，按下操作面板上的“机械泵”按钮，开启机械泵。约5分钟后，打开分子泵电源，显示“600”时，按下“启动”按钮，启动分子泵。 6. 开启“阀（V3）开”（长按2秒），V2灯灭，V3灯亮，打开真空计电源。粗抽真空至3Pa时，V3阀自动关闭。插板阀指示灯亮，打开插板阀抽高真空。 7. 在温控仪上设置好所需键合温度，抽真空至5×10-3时，按下操作面板上的“加热”按钮开始加热，待温度稳定10分钟后可以进行键合。 8. 根据样品放置位置调整电极极性，按下“允许加电压”按钮后，开始加电压。 9. 待键合操作结束后，将电压调压器旋至零位，按下“允许加电压”、“加热”按钮，停止加电压和加热。依次关闭真空计电源、插板阀、“停止”分子泵（至“600”闪烁时关闭其电源）、机械泵、键合炉电源、冷水机电源。 10. 样品在真空环境下自然冷却，12小时后可开机取样。依照1、2步操作，打开前门后，按下操作面板上的“升”、“降”按钮使电极起落，取出样品。擦净上下电极，依次关闭键合炉电源、冷水机电源。 注意事项： 1. 打开键合炉电源前，须将调压器电压调整至零位，取放样品宜采用木质工具。 2. 浮动压力头不能和电极直接接触，以防键合时发生短路。 3. 注意键合材料的极性选择，如：硅片应和正极接触。 4. 分子泵必需持续开启至实验结束，下次启动至少间隔10分钟。分子泵启动到满转需要6分钟左右，从满转到停止需要8分钟左右。 5. 除设定键合温度外，其他参数未经许可，不得修改。如：冷水机、分子泵、真空计等各参数。 6. 严格按照要求，在使用管理记录本上详细登记使用情况。 BFS－1型键合炉（大气） 操作说明 1. 实验操作前，检查整机及各配件（冷水机、机械泵等）是否正常，若没有问题，将调压器电压调整至零位，依次打开冷水机电源、键合炉总电源。 2. 按下操作面板上的“充气”按钮，V4指示灯亮，给真空室充气，约4分钟后前门自动打开，再次按下“充气”按钮，关闭充气阀。 3. 将待键合的样品擦洗干净，将抛光面对好并合在一起放在电极上，并尽量使键合样品与浮动电极的电压头对准。 4. 按下操作面板上的“升”、“降”按钮使电极起落，压紧键合样品，反复几次，将样品之间气体赶出。 5. 在温控仪上设置好所需键合温度，以“上温”控制为准。按下操作面板上的“加热”按钮开始加热，待温度稳定10分钟后可以进行键合。 6. 根据样品放置位置调整电极极性，按下“允许加电压”按钮后，开始加电压。 7. 待键合操作结束后，将电压调压器旋至零位，依次按下“允许加电压”、“加热”按钮，停止加电压和加热。 8. 样品自然冷却，待冷却到100度左右取样。打开前门后，按下操作面板上的“升”、“降”按钮使电极起落，取出样品。擦净上下电极，依次关闭键合炉电源开关、冷水机电源开关。 注意事项： 1. 打开键合炉电源前，须将调压器电压调整至零位，取放样品宜采用木质工具。 2. 浮动压力头不能和电极直接接触，以防键合时发生短路。 3. 注意键合材料的极性选择，硅片应和正极接触。 4. 严格按照要求，在使用管理记录本上详细登记使用情况。 本文来源：https://www.wddqw.com/doc/51c69000677d27284b73f242336c1eb91a373327.html