半导体制造技术发展(一) 朱钧[1];刘剑钊[2] 【期刊名称】《中国集成电路》 【年(卷),期】2002(000)005 【摘 要】一、快速发展的半导体制造技术 Moore规律(储存器容量每三年翻两番)预测并指导了半导体技术发展趋势。这已被三十年的经历所证明,而成为总能实现的预言。表1的数据也体现了这个规律。但是,制造厂的成本正在成倍地增加。Moore是对他创造的规律提出疑问的唯一的一个人。他考虑制造成本因素,建议不要盲目跟从去追求有可能达不到的目标。 【总页数】5页(P69-73) 【作 者】朱钧[1];刘剑钊[2] 【作者单位】[1]清华大学微电子学研究所;[2]清华大学微电子学研究所 【正文语种】中 文 【中图分类】TN405 【相关文献】 1.ArF准分子光刻机使半导体制造工艺到达32 nm Gigaphoton公司发布了用于下一代半导体制造的世界上最强大的氟化氩(ArF)准分子激光器 [J], 张岩 2.中日半导体产业协会交流——中国半导体产业同日本半导体制造装置业间的合作：“SEAJ Journal”组织新春对话会 [J], 俞忠钰;毕克允;大坪英夫 3.首尔半导体首次在韩国量产适用于汽车前灯的LED光源——首尔半导体首次在韩国量产适用于汽车前灯的LED光源——首尔半导体的LED光源被全球第四的汽车制造商在主要车型上采用 [J], 4.半导体制造技术发展趋势：朝着0.1微米前进 [J], Stix,G;徐树林 5.半导体专家谈半导体技术发展的现状、特点与机遇 [J], 鹏已本 因版权原因，仅展示原文概要，查看原文内容请购买 本文来源：https://www.wddqw.com/doc/aceeba6d0a12a21614791711cc7931b765ce7b8c.html